2026.03.16 News

Presentation at the 73rd JSAP Spring Meeting

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Professor Kurita presented the latest results on laser gettering technology at the 73rd JSAP (Japan Society of Applied Physics) Spring Meeting held on March 16, 2026.

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2026年3月15日→18日  東京科学大学  大岡山キャンパス
一般セッション(口頭講演) 15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥
[16a-W8E_307-1]
Chiplet時代のSi waferのゲッタリング設計
栗田 一成1、近藤 博基1 (1.九州大学)
https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2026s/presentation/16a-W8E_307-1